离轴非球面加工高精度补偿器技术

经典的非球面是指圆锥二次非球面，如抛物面、双曲面等。在经典的非球面加工及检验过程中，利用圆锥二次曲面集点处成完善像的特点，借助辅助平面镜和球面反射镜进行检验。但是目前光学系统的相对孔径和视场越来越大，使得高次非球面和小F数的大口径非球面反射镜的应用越来越多，需要通过采用高精度非球面补偿器等辅助手段来实现非球面反射镜的检验。

为了实现高精度的检测，补偿检测的光学设计需要解决像质优良与小F数的矛盾关系设计结果像质越好，检验光路越复杂，增加了光学设计的难度。针对小F数系统设计的补偿器，对于装调过程的形位公差要求更为严格，稍有偏差就会严重影响检测的结果。在加工时，由于小F数的工件通常存在非球面矢量沿直径方向变化陡度大的特点，要求加工车床的主轴在振动等方面稳定性特别高，同时要尽量减小金刚石的车削步进，解决加工周期长、加工精度高、车床稳定性好等问题。